CVD/PVD ရေချိုးခေါင်းအတွက် အလူမီနာဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးရေးပြား
St.Cera ရဲ့ ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးရေးပြား (ရေချိုးခန်းခေါင်း) ကို မြင့်မားတဲ့သန့်စင်မှု ၉၉.၈% အလူမီနာကြွေထည်နဲ့ တိကျစွာပြုလုပ်ထားပါတယ်။ ၎င်းမှာ CVD၊ PVD သို့မဟုတ် ALD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို တစ်ပြေးညီဖြစ်စေမယ့် မိုက်ခရိုအပေါက်များ (အချင်း ၀.၃–၁.၅ မီလီမီတာ) အများအပြားပါရှိပါတယ်။ ပြားရဲ့ မြင့်မားတဲ့ dielectric strength (>15×10⁶ V/m) နဲ့ plasma resistance က semiconductor thin-film deposition အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါတယ်။
သတ်မှတ်ချက်များ:
| အိမ်ခြံမြေ | တန်ဖိုး |
| ပစ္စည်း | ၉၉.၈% Al₂O₃ သို့မဟုတ် SiC |
| အချင်း | ၁၀၀ – ၁၅၀၀ မီလီမီတာ (အဝိုင်း) သို့မဟုတ် ထောင့်မှန်စတုဂံ |
| အထူ | ၅ – ၂၀ မီလီမီတာ |
| အပေါက်အချင်း | ၀.၃ – ၁.၅ မီလီမီတာ |
| အပေါက်ပုံစံ | စိတ်ကြိုက် (တြိဂံ၊ စတုရန်း၊ ရေဒီယယ်) |
| ပြားချပ်ချပ် | ဧရိယာတစ်ခုလုံးတွင် ≤10 μm |
| မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု | Ra ≤0.6 μm (ဓာတ်ငွေ့ဘက်ခြမ်း) |
| ပွင့်လင်းဧရိယာအချိုး | ၅–၁၅% |
အသုံးချမှုများ:
PECVD ရေချိုးခန်းခေါင်းပြားများ
ALD ဓာတ်ငွေ့ထိုးသွင်းကိရိယာများ
Etch chamber ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးရေးပြားများ
MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ
ထုတ်လုပ်ခြင်း-
အလူမီနာအောက်ခံပြားကို ပြားချပ်အောင် ပွတ်တိုက်ခြင်း → စိန်ဖြင့်အုပ်ထားသောကိရိယာများဖြင့် CNC တူးဖော်ခြင်း (အပေါက်နေရာခံနိုင်ရည် ±0.02 မီလီမီတာ) → ချွန်ထက်သောအစွန်းများကို ဖယ်ရှားခြင်း → အသံလှိုင်းဖြင့် သန့်ရှင်းရေး → Class 100 ထုပ်ပိုးခြင်း။
အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု-
အပေါက်အရွယ်အစား (မြင်ကွင်းစနစ်)၊ ပြားချပ်မှု (လေဆာ အင်တာဖယ်ရိုမီတာ) နှင့် ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု (ဖိအားမြေပုံ) တို့အတွက် ပန်းကန်တစ်ခုစီကို ၁၀၀% စစ်ဆေးသည်။ ၂၀x မိုက်ခရိုစကုပ်အောက်တွင် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းအောက်တွင် အဏုကြည့်အက်ကွဲကြောင်းများ မရှိပါ။
သတ္တုပြားများထက် အားသာချက်များ-
ပါးလွှာသောဖလင်များတွင် သတ္တုညစ်ညမ်းမှု မရှိပါ
အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်မှု နည်းပါးခြင်း (ချေးခြင်း အလွှာများ မရှိခြင်း)
ပြင်းထန်သော သန့်ရှင်းရေး ပလာစမာများ (CF₄, NF₃) ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်
စိတ်ကြိုက်အင်္ဂါရပ်များ-
နောက်ဘက်ဓာတ်ငွေ့လမ်းကြောင်းများ၊ တန်ပြန်ဖောက်ထားသောအပေါက်များ၊ အနားသတ်အလုံပိတ်များနှင့် မတူညီသောပစ္စည်းအဆင့်များ (အပူစီးကူးမှုမြင့်မားစေရန် SiC၊ ပလာစမာခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် Y₂O₃ အလွှာ)။
ထုတ်လုပ်မှုမပြုလုပ်မီ CAD အတည်ပြုခြင်းနှင့် စီးဆင်းမှု သရုပ်ဖော်ခြင်းတို့ကို ကျွန်ုပ်တို့ ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
