Teflon ဖြင့်အုပ်ထားသော ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု – ဝေဖာကိုင်တွယ်ရာတွင် ထိခိုက်လွယ်သော အရည်အတွက် ကပ်မနေသော မျက်နှာပြင်

St.Cera ရဲ့ Teflon (PTFE) အုပ်ထားတဲ့ ကြွေထည် end effector ဟာ မြင့်မားတဲ့အစွမ်းသတ္တိရှိတဲ့ alumina substrate ကို ညီညာတဲ့၊ ပွတ်တိုက်မှုနည်းတဲ့ PTFE coating (အထူ 15–30 μm) နဲ့ ပေါင်းစပ်ထားပါတယ်။ ဒီ coating ဟာ ​​အလွန်နိမ့်တဲ့ friction coefficient (≤0.1)၊ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည်ကောင်းမွန်မှုနဲ့ ကပ်မနေတဲ့ဂုဏ်သတ္တိတွေကို ပေးစွမ်းပြီး wafer ကပ်ငြိမှုကို ကာကွယ်ပေးပြီး backside contamination ကို ဖယ်ရှားပေးပါတယ်။ အောက်ခံကြွေထည် substrate (99.8% Al₂O₃) ဟာ 260°C အထိ မြင့်မားတဲ့ flexural strength (361–1000 MPa)၊ wear resist နဲ့ thermal stability တို့ကို ပေးစွမ်းပါတယ် (coating limit)။ ဒီ end effector ဟာ နူးညံ့တဲ့၊ ပါးလွှာတဲ့ ဒါမှမဟုတ် စေးကပ်တဲ့ wafer တွေကို ကိုင်တွယ်ဖို့အတွက် အကောင်းဆုံးပါပဲ (ဥပမာ၊ photoresist coating ဒါမှမဟုတ် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ လုပ်ငန်းစဉ်တွေပြီးနောက်)။

သတ်မှတ်ချက်များ (PTFE အပေါ်ယံလွှာပါရှိသော 99.8% Al₂O₃ အောက်ခံပေါ်တွင် အခြေခံထားသည်):

မှတ်ချက်- PTFE အပေါ်ယံလွှာသည် အမြင့်ဆုံးအပူချိန်ကို 260°C အထိ ကန့်သတ်ထားသည်။ အပူချိန်မြင့်သော အသုံးချမှုများအတွက်၊ အပေါ်ယံလွှာမပါသော ကြွေထည် သို့မဟုတ် အခြားအပေါ်ယံလွှာများကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားပါ။

အသုံးချမှုများ:

• · ဖိုတိုရီဆစ်အလွှာ (ကပ်စေးသော မျက်နှာပြင်များ) ပြီးနောက် ဝေဖာများကို ကိုင်တွယ်ခြင်း
• · ပါးလွှာသော သို့မဟုတ် ပျက်စီးလွယ်သော ဝေဖာများကို လွှဲပြောင်းခြင်း (ကပ်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်)
• · တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစစ်ဆေးခြင်းနှင့် မက်ထရိုလိုဂျီကိရိယာများ
• · အမှုန်အမွှားညစ်ညမ်းမှုကို အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်ရမည့် သန့်ရှင်းသောအခန်း အလိုအလျောက်စနစ်

ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်-

ကြွေအလွှာကို အပူပေး၍ တိကျစွာ မြေမှုန့်ပြုလုပ်ခြင်း → မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းစေခြင်း (ပလာစမာ ခြစ်ခြင်း သို့မဟုတ် ဂရစ်ပေါက်ကွဲမှု) → PTFE ဖြန်းဆေးဖြင့် အပေါ်ယံလွှာပြုလုပ်ခြင်း → 380°C တွင် အပူပေး၍ ကုသမှု → နောက်ဆုံးစစ်ဆေးခြင်း။ အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသော ကိရိယာတစ်ခုစီကို အပေါ်ယံလွှာအထူ (eddy current)၊ ကပ်ငြိမှု (cross-cut test ASTM D3359) နှင့် ပွတ်တိုက်မှုကိန်းဂဏန်းတို့အတွက် စစ်ဆေးသည်။

အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု-

အပေါက်ငယ်များ သို့မဟုတ် ပူဖောင်းများအတွက် 100% မျက်မြင်စစ်ဆေးခြင်း။ အပေါ်ယံအထူ တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု ±5 μm အတွင်း။ မျက်မြင်သက်သေကူပွန်ပေါ်တွင် 90° ကွေးညွှတ်စမ်းသပ်မှုပြီးနောက် အက်ကွဲခြင်း မရှိပါ။ OEM ခံနိုင်ရည်အားအတိုင်း အတိုင်းအတာစစ်ဆေးမှု (အရှည် ±0.05 မီလီမီတာ၊ ပြားချပ်မှု ≤0.1 မီလီမီတာ)။

အလွှာမအုပ်ထားသော သို့မဟုတ် အခြားအလွှာများထက် အားသာချက်များ-

• · ကပ်မနေသော မျက်နှာပြင်သည် ဝေဖာကပ်ခြင်းနှင့် ကျိုးပဲ့ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်
• · ကြွေထည်အပေါ်ယံလွှာများကြားတွင် အနိမ့်ဆုံးပွတ်တိုက်မှုကိန်း
• · ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ခံနိုင်ရည်ကောင်းမွန်ခြင်း (အက်ဆစ်၊ ဘေ့စ်၊ ပျော်ရည်များ)
• · ပစ္စည်းလွှဲပြောင်းမှုကို တားဆီးခြင်းဖြင့် အမှုန်အမွှားများ ဖြစ်ပေါ်မှုကို လျော့ကျစေသည်

ကန့်သတ်ချက်များ (ပစ္စည်းကွဲလွဲမှုအပေါ် မှတ်ချက်များ):

PTFE အပေါ်ယံလွှာကို ပေးထားသော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိဇယားများ (Al₂O₃၊ ZrO₂၊ Si₃N₄၊ BeO) မှ ရယူထားခြင်းမဟုတ်ပါ။ အောက်ခံဂုဏ်သတ္တိများသည် ပေးထားသော အချက်အလက်စာရွက် (99.8% Al₂O₃) ကို တင်းကြပ်စွာ လိုက်နာပါသည်။ အပေါ်ယံလွှာဂုဏ်သတ္တိများသည် မည်သည့်အပေါ်ယံလွှာဒေတာကိုမျှ မပေးထားသောကြောင့် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်း PTFE သတ်မှတ်ချက်များအပေါ် အခြေခံထားသည်။ 260°C ထက်ကျော်လွန်သော အသုံးချမှုများအတွက်၊ အပေါ်ယံလွှာမပါသော ကြွေအဆုံးအကျိုးသက်ရောက်ကိရိယာကို အကြံပြုထားသည်။*

စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း-

အရှည် ၁၅၀–၁၅၀၀ မီလီမီတာ၊ အဖျားပုံသဏ္ဍာန်များ (အနားကွပ်၊ Bernoulli၊ ပြားချပ်ချပ်)၊ OEM ပုံဆွဲချက်အရ တပ်ဆင်နိုင်သော အနားကွပ်ပုံစံများဖြင့် ရရှိနိုင်ပါသည်။ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းအလွှာ (ထိတွေ့သည့်နေရာများသာ) သို့မဟုတ် အပြည့်အဝဖုံးအုပ်မှု ရွေးချယ်နိုင်သည်။

ကပ်ငြိမှုနှင့် ပွတ်တိုက်မှုစမ်းသပ်မှုအတွက် နမူနာတစ်ခု တောင်းဆိုပါ။