တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ် တပ်ဆင်ပစ္စည်းများအတွက် ကြွေထောက်ပံ့တံ
St.Cera ရဲ့ ကြွေထည်ထောက်ပံ့တံများ (lift pins သို့မဟုတ် support pins ဟုလည်းလူသိများသည်) ကို semiconductor process chambers များတွင် ကိုင်တွယ်ခြင်း၊ အပူပေးခြင်း သို့မဟုတ် အအေးပေးခြင်းပြုလုပ်စဉ်အတွင်း wafers သို့မဟုတ် substrates များကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် အသုံးပြုပါသည်။ 99.8% alumina သို့မဟုတ် silicon nitride မှထုတ်လုပ်ထားသော ဤတံများသည် မြင့်မားသော compressive strength၊ thermal stability နှင့် chemical resistance တို့ကို ပေးစွမ်းသည်။ hemispherical သို့မဟုတ် flat tip ဒီဇိုင်းသည် wafer ခြစ်ရာများကို ကာကွယ်ပေးသည်။
သတ်မှတ်ချက်များ(အလူမီနာ 99.8%):
| အိမ်ခြံမြေ | တန်ဖိုး |
| ပစ္စည်း | ၉၉.၈% Al₂O₃ သို့မဟုတ် Si₃N₄ |
| အရှည် | ၁၀ – ၁၀၀ မီလီမီတာ |
| အချင်း | ၁ – ၁၀ မီလီမီတာ |
| အဖျားပုံသဏ္ဍာန် | ပြားချပ်ချပ်၊ ጭማሚያየትလုံး၊ ချွန်ထက်သော |
| ဖိသိပ်အား (Al₂O₃) | >၂၀၀၀ အမ်ပီယာ |
| အများဆုံးလည်ပတ်မှုအပူချိန် (Al₂O₃) | ၁၆၀၀°C |
| မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု | ပွတ်တိုက်ထားသည် (Ra ≤0.4 μm) |
| အချင်းအပေါ် သည်းခံမှု | ±၀.၀၁ မီလီမီတာ |
အသုံးချမှုများ:
CVD/PVD အခန်းများရှိ မြှင့်တင်တံများ
မီးဖိုချောင်သုံး မုန့်ဖုတ်ရန်အတွက် အထောက်အပံ့တံများ
စမ်းသပ်ကတ်ထောက်ပံ့မှုဖွဲ့စည်းပုံများ
Quartz မီးဖိုလှေအထောက်အပံ့များ
ထုတ်လုပ်ခြင်း-
OD ကို တိကျစွာ အလယ်ဗဟိုမဲ့ ကြိတ်ခွဲခြင်း → အဖျားပရိုဖိုင်ကို စိန်ကြိတ်ခွဲခြင်း → အာထရာဆောင်း သန့်ရှင်းရေး → ၁၀၀% အတိုင်းအတာ စစ်ဆေးခြင်း။
အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု-
အရှည်/အချင်းအတွက် CMM၊ အဖျားအချင်းဝက်အတွက် optical comparator၊ ဖိသိပ်အားကို အတည်ပြုရန် load testing (အသုတ်တစ်ခုလျှင် ကျပန်းနမူနာ)။ ferromagnetic contamination မရှိပါ (သံလိုက်ဖြင့် အတည်ပြုထားသည်)။
သတ္တု သို့မဟုတ် Quartz Pin များထက် အားသာချက်များ-
သံမဏိထက် သက်တမ်း ၅ ဆ ပိုရှည်သည်
လုပ်ငန်းစဉ်ခန်းတွင် သတ္တုညစ်ညမ်းမှုမရှိပါ
ကွာ့ဇ်ထက် အပူချိန်ပိုမိုမြင့်မားခြင်း (၁၆၀၀°C vs ၁၁၀၀°C)
ကပ်မနေသော မျက်နှာပြင် (အမှုန်အမွှားများ ကပ်ငြိမှု လျော့နည်းစေခြင်း)
စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း-
အဖျားပရိုဖိုင်များစွာ၊ ချည်မျှင်အောက်ခံ သို့မဟုတ် ချွန်ထက်သောရိုးတံ။
ကျွန်ုပ်တို့သည် အလွန်အမင်း ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် SiC တံသင်များကိုလည်း ထောက်ပံ့ပေးပါသည်။
