-
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အငွေ့စုပုံစနစ်များအတွက် အလူမီနာ PVD လျှပ်ကာလက်စွပ်
St.Cera ရဲ့ PVD insulation ring ကို 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃) နဲ့ ပြုလုပ်ထားပြီး physical vapor deposition (PVD) systems တွေမှာ အသုံးပြုပါတယ်။ ဒီ ring က chamber components တွေကြားမှာ electrical isolation ကို ပေးစွမ်းပြီး arcing ဖြစ်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပြီး plasma operation ကို တည်ငြိမ်စေပါတယ်။ အဓိကဂုဏ်သတ္တိတွေကတော့ dielectric strength မြင့်မားခြင်း (15×10⁶ V/m)၊ specific resistance >10¹⁴ Ω·mm²/m နဲ့ 1600°C အထိ thermal stability တို့ပဲ ဖြစ်ပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ တိကျတဲ့ machining စွမ်းရည်တွေက outer diameters 600mm အထိ၊ inner diameters 0.2mm အထိ၊ flatness 0.003mm နဲ့ surface finish Ra0.1 အထိ ရရှိစေပါတယ်။ ဒီ ring ရဲ့ သုည porosity နဲ့ chemical inertness က ပြင်းထန်တဲ့ sputtering environments တွေမှာ ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေပါတယ်။
-
E-Gun အငွေ့ပျံစနစ်များအတွက် အလူမီနာကြွေအစိတ်အပိုင်းများ
St.Cera သည် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည် (E-gun) အငွေ့ပျံစနစ်များအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော မြင့်မားသောသန့်စင်မှု ၉၉.၈% အလူမီနာကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်သည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများတွင် crucible liners၊ beam deflector shields၊ insulator များနှင့် mounting fixtures များ ပါဝင်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော dielectric strength (15×10⁶ V/m)၊ 1600°C အထိ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် အငွေ့ပျံသွားသောပစ္စည်းများမှ အပူရှော့ခ်နှင့် ဓာတုဗေဒတိုက်ခိုက်မှုကို ကောင်းမွန်စွာခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ တိကျသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းရည်များသည် အနည်းဆုံးအင်္ဂါရပ်အရွယ်အစား 0.2mm၊ ပြားချပ်မှု 0.003mm နှင့် မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 ရှိသော ရှုပ်ထွေးသော geometries များကို ရရှိစေသည်။ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီကို အတိုင်းအတာတိကျမှုအတွက် 100% CMM စစ်ဆေးသည်။
-
ST.CERA စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော ၉၉.၅% အလူမီနာ ကြွေထည် အစိတ်အပိုင်းများ
ကြွေဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများဆိုသည်မှာ ကြွေအစိတ်အပိုင်းများ၏ ရှုပ်ထွေးသောပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးကို ယေဘုယျအသုံးအနှုန်းဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော ကြွေအစိတ်အပိုင်းများကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံထားသော isostatic ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး အပူချိန်မြင့်မားစွာ sintering လုပ်ပြီးနောက် တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်းကို semiconductor ပစ္စည်းကိရိယာများ၊ optical ဆက်သွယ်ရေး၊ လေဆာ၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ ရေနံ၊ သတ္တုဗေဒ၊ အီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းများတွင် အပူချိန်မြင့်မားစွာခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် insulator ကဲ့သို့သော အင်္ဂါရပ်များဖြင့် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။
-
ST.CERA စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော ၉၉.၅% အလူမီနာ ကြွေထည် ဝန်တင်စက်လက်
ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု / ကိုင်တွယ်မှုလက်မောင်းကို wafer ကိုင်တွယ်သည့်စက်ရုပ် သို့မဟုတ် “အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု” တွင် တပ်ဆင်ထားပြီး ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို ကက်ဆက်များ သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်အခန်းများထဲသို့ သယ်ဆောင်ရန် သို့မဟုတ် အပြင်သို့ သယ်ဆောင်ရန် အသုံးပြုသည်။
ကြွေထည်များအသုံးပြုခြင်း၏ အကျိုးကျေးဇူးများမှာ မြင့်မားသောကွေးညွှတ်အားကြောင့် ကွေးညွှတ်မှုကို လျှော့ချခြင်း၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် သတ္တုညစ်ညမ်းမှုနှင့် အမှုန်အမွှားများကို ဖယ်ရှားခြင်းတို့ဖြစ်သည်။ -
ST.CERA စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်ထားသော ၉၉.၅% အလူမီနာ ကြွေထည် အစိတ်အပိုင်းများ
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံ isostatic ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်အောက်တွင် sintering လုပ်ပြီးနောက် တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်းကို semiconductor ပစ္စည်းကိရိယာများ၊ optical ဆက်သွယ်ရေး၊ လေဆာ၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ ရေနံ၊ သတ္တုဗေဒ၊ အီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းများတွင် အပူချိန်မြင့်မားစွာခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် insulator ကဲ့သို့သော အင်္ဂါရပ်များဖြင့် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။
-
တိကျသောကြွေထည် အလူမီနာ ကြွေထည် ဝေဖာ ကိုင်တွယ်ရေးလက်မောင်း တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကြွေထည်များ
အပူချိန်မြင့်မားစွာခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်းနှင့် အပူလျှပ်ကာမှုတို့၏ အင်္ဂါရပ်များဖြင့် ကြွေထည်ပစ္စည်းများသည် အပူချိန်မြင့်မားခြင်း၊ လေဟာနယ် သို့မဟုတ် ချေးနိုင်သောဓာတ်ငွေ့အခြေအနေတွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုပစ္စည်းကိရိယာများစွာတွင် အလုပ်လုပ်နိုင်သည်။
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အလူမီနာမှုန့်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ အအေးခံ isostatic pressing၊ မြင့်မားသောအပူချိန် sintering နှင့် တိကျသောအပြီးသတ်ခြင်းတို့ဖြင့် ပြုပြင်ထားပြီး၊ အတိုင်းအတာသည်းခံနိုင်မှု ±0.001 မီလီမီတာ၊ မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra 0.1၊ အပူချိန်ခံနိုင်ရည် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ရောက်ရှိနိုင်သည်။
-
လျှပ်ကာအလူမီနာကြွေလက်မောင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာအစိတ်အပိုင်းများ
ဝေဖာများကို သယ်ယူပို့ဆောင်စဉ် သို့မဟုတ် End Effector / Handling Arm နှင့် ထိတွေ့နေစဉ်တွင် ထောင့်စွန်း သို့မဟုတ် ထောင့်စွန်းများနှင့် နောက်ကျောမျက်နှာပြင်မှ ထွက်လာနိုင်သော အမှုန်များကို ကာကွယ်ပါ။
လမ်းညွှန်များအတွက်၊ ဝေဖာကို မပျက်စီးစေသော ပျော့ပျောင်းသောပစ္စည်းကို အသုံးပြုထားသည်။
ကော်မသုံးသော ST.CERA ၏ built-in vacuum channel နည်းပညာဖြင့် ပါးလွှာစေနိုင်သည်။
စက်ရုပ်ပေါ်တွင် End Effector / Handling Arm တပ်ဆင်ထားသည့် အောက်ခြေ၏ အရှည်နှင့် အနံကို ပြောင်းလဲခြင်းနှင့် တပ်ဆင်ရန် အပေါက်များ ပြုလုပ်ခြင်း ဖြစ်နိုင်သည်။
အာရုံခံကိရိယာများ၊ ဝက်အူများနှင့် ဘရက်ကက်များတပ်ဆင်ခြင်းကို ရွေးချယ်မှုအဖြစ် ရရှိနိုင်ပါသည်။
လေထုထဲတွင် အသုံးပြုနိုင်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်
-
တိကျသောကြွေအလူမီနာကြွေထည်များ၏ မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော ကြွေပြွန်ကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံ isostatic ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် sintering လုပ်ပြီးနောက် တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားခြင်းနှင့် ပွတ်တိုက်မှုကိန်းနည်းပါးခြင်းကဲ့သို့သော အားသာချက်များစွာဖြင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ တိကျသောစက်ယန္တရားများ၊ လေဆာ၊ မက်ထရိုလိုဂျီနှင့် စစ်ဆေးရေးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းသည် အက်ဆစ်နှင့် အယ်ကာလီအခြေအနေများတွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး အမြင့်ဆုံးအပူချိန်မှာ ၁၆၀၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိနိုင်သည်။
-
မြင့်မားသောဖိအားနှင့် ယိုယွင်းပျက်စီးမှုဒဏ်ခံနိုင်သော အလူမီနာကြွေချောင်း ကြွေပလန်ဂါ
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော ကြွေချောင်းကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံ isostatic ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် sintering လုပ်ပြီးနောက် တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားခြင်းနှင့် ပွတ်တိုက်မှုကိန်းနည်းပါးခြင်းကဲ့သို့သော အားသာချက်များစွာဖြင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ တိကျသောစက်ယန္တရားများ၊ လေဆာ၊ တိုင်းတာမှုနှင့် စစ်ဆေးရေးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းသည် အက်ဆစ်နှင့် အယ်ကာလီအခြေအနေများတွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး အမြင့်ဆုံးအပူချိန်မှာ ၁၆၀၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိနိုင်သည်။
-
အလူမီနာ ကြွေရိုးတံ အစွပ် ကြွေပလန်ဂါ
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော ကြွေချောင်းကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံ၍ ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး အပူချိန်မြင့်မားစွာအောက်တွင် sintering လုပ်ကာ တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ ပွတ်တိုက်မှုခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ မာကျောမှုမြင့်မားခြင်း၊ ခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားခြင်းနှင့် ပွတ်တိုက်မှုကိန်းနည်းပါးခြင်းကဲ့သို့သော အားသာချက်များစွာဖြင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ တိကျသောစက်ယန္တရားများ၊ လေဆာ၊ တိုင်းတာမှုနှင့် စစ်ဆေးရေးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းသည် အက်ဆစ်နှင့် အယ်ကာလီအခြေအနေများတွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာအလုပ်လုပ်နိုင်ပြီး အမြင့်ဆုံးအပူချိန်မှာ ၁၆၀၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိရှိနိုင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့ပုံမှန်အသုံးပြုသော ကြွေပစ္စည်းများမှာ ဇာကိုးနီးယား၊ ၉၅% ~ ၉၉.၉% အလူမီနာ (Al2O3)၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိုက် (Si3N4)၊ အလူမီနိုက်ထရိုက် (AlN) စသည်တို့ဖြစ်သည်။
-
အလူမီနာကြွေထည်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖွဲ့စည်းပုံအစိတ်အပိုင်းများ၏အလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်
ကြွေဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများဆိုသည်မှာ ကြွေအစိတ်အပိုင်းများ၏ ရှုပ်ထွေးသောပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးကို ယေဘုယျအသုံးအနှုန်းဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ကြွေမှုန့်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော ကြွေအစိတ်အပိုင်းများကို ခြောက်သွေ့စွာဖိခြင်း သို့မဟုတ် အအေးခံထားသော isostatic ဖိခြင်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး အပူချိန်မြင့်မားစွာ sinter လုပ်ပြီးနောက် တိကျစွာစက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်းကို semiconductor ပစ္စည်းကိရိယာများ၊ optical ဆက်သွယ်ရေး၊ လေဆာ၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းကိရိယာများ၊ ရေနံ၊ သတ္တုဗေဒ၊ အီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်းများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။
-
အလူမီနာကြွေထည်ဖွဲ့စည်းပုံအစိတ်အပိုင်းများဖွဲ့စည်းပုံအစိတ်အပိုင်းများ
ကြွေဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများဆိုသည်မှာ ကြွေအစိတ်အပိုင်းများ၏ ရှုပ်ထွေးသောပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးကို ယေဘုယျအသုံးအနှုန်းဖြစ်သည်။ ၎င်းကို ခြောက်သွေ့သောဖိအား သို့မဟုတ် အအေး isostatic ဖိအားဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် sintered လုပ်ကာ တိကျစွာစက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အလူမီနာမှုန့်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး၊ အအေးခံ isostatic pressing၊ မြင့်မားသောအပူချိန် sintering နှင့် တိကျသောအပြီးသတ်ခြင်းတို့ဖြင့် ပြုပြင်ထားပြီး၊ အတိုင်းအတာသည်းခံနိုင်မှု ±0.001 မီလီမီတာ၊ မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra 0.1၊ အပူချိန်ခံနိုင်ရည် 400°C~800°C အထိ ရောက်ရှိနိုင်သည်။
