ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု – အပူချိန်မြင့်ဝေဖာကိုင်တွယ်မှုအတွက် မြင့်မားသောမာကျောမှု
St.Cera ရဲ့ SiC ကြွေထည် end effector ကို S1111 batch ပစ္စည်းကို အသုံးပြုပြီး မြင့်မားတဲ့သန့်စင်တဲ့ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC ပါဝင်မှု 99.72%၊ free Si 0.05%) မှ ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ ၎င်းမှာ ထူးခြားတဲ့ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိတွေကို ပေးစွမ်းပါတယ်- ကွေးညွှတ်အား 449 MPa (တိုင်းတာ)၊ elastic modulus 457 GPa (တိုင်းတာ) နှင့် Vickers မာကျောမှု 25–28 GPa (ပုံမှန်)။ သိပ်သည်းဆနည်းခြင်း (3.10–3.15 g/cm³၊ ပုံမှန်) သည် မြန်နှုန်းမြင့် wafer transfer robots များအတွက် သင့်လျော်သော မြင့်မားသော သီးခြားတောင့်တင်းမှုကို ပေးစွမ်းသည်။ 120–150 W/m·K (ပုံမှန်) အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ပုံမှန်) ၏ အပူချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းဖြင့် ဤ end effector သည် အပူကို ထိရောက်စွာ ပျံ့နှံ့စေပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်ကိုင်တွယ်မှု (1600–1700°C အထိ၊ ဝန်မရှိ) အတွင်း အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းပေးသည်။ အနက်ရောင်/မီးခိုးရောင်နှင့် ရေစုပ်ယူမှု လုံးဝမရှိခြင်းက cleanroom လိုက်ဖက်ညီမှုကို သေချာစေသည်။
သတ်မှတ်ချက်များ(ထောက်ပံ့ပေးထားသော SiC S1111 စမ်းသပ်အစီရင်ခံစာနှင့် ပုံမှန်တန်ဖိုးများအပေါ် အခြေခံသည်)):
| အိမ်ခြံမြေ | တန်ဖိုး |
| ပစ္စည်း | SiC (99.72% SiC၊ 0.05% လွတ်လပ်သော Si) |
| အရောင် | အနက်ရောင်/မီးခိုးရောင် |
| သိပ်သည်းဆ | ၃.၁၀–၃.၁၅ ဂရမ်/စင်တီမီတာ³ |
| ရေစုပ်ယူမှု | 0% |
| ကွေးညွှတ်အား | ၄၄၉ MPa (ပျမ်းမျှ) |
| ကျိုးပဲ့ခြင်း ခိုင်ခံ့မှု | ၃.၁၂ MPa·m¹/² (ပျမ်းမျှ) |
| ပျော့ပျောင်းသော မော်ဂျူးလပ်စ် | ၄၅၇ GPa |
| ဗစ်ကာစ် မာကျောမှု | ၂၅–၂၈ GPa |
| အပူစီးကူးနိုင်စွမ်း (၂၅°C) | ၁၂၀–၁၅၀ W/m·K |
| CTE (၂၅–၁၀၀၀°C) | ၄.၀–၄.၅×၁၀⁻⁶/℃ |
| အများဆုံးအသုံးပြုမှုအပူချိန် (ဝန်မရှိ) | ၁၆၀၀–၁၇၀၀°C |
အသုံးချမှုများ:
● အပူချိန်မြင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း (post-anneal၊ RTP၊ epitaxy)
● မြင့်မားသော တိုက်စားမှုဒဏ်ခံနိုင်သော ပလာစမာ ခြစ်ချသည့် အခန်းများ
● မြန်နှုန်းမြင့် လွှဲပြောင်းစက်ရုပ်များ (ပေါ့ပါးပြီး မာကျောမှုမြင့်မားသည်)
ထုတ်လုပ်ခြင်း-
SiC အမှုန့် sintering → လက်မောင်းပရိုဖိုင်နှင့် တပ်ဆင်မှုအင်္ဂါရပ်များကို တိကျစွာ CNC ကြိတ်ခွဲခြင်း → မျက်နှာပြင် lapping → ultrasonic cleaning။ ဖုန်စုပ်စက်အသုံးချမှုများအတွက် 100% အတိုင်းအတာစစ်ဆေးခြင်းနှင့် ဟီလီယမ်ယိုစိမ့်မှုစမ်းသပ်မှု။
အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှု-
● အရှည်၊ အနံနှင့် ပြားချပ်ချပ် CMM စစ်ဆေးခြင်း
● အသုတ်တစ်ခုလျှင် ကွေးညွှတ်အားစမ်းသပ်မှု (စမ်းသပ်မှုအစီရင်ခံစာစံနှုန်းတစ်ခုစီ)
● မျက်နှာပြင်ချို့ယွင်းချက်များအတွက် မိုက်ခရိုစကုပ်အောက်တွင် မျက်မြင်စစ်ဆေးခြင်း
အလူမီနာ သို့မဟုတ် သတ္တုထက် အားသာချက်များ-
● ၂ × ပိုမိုမြင့်မားသော elastic modulus (အလူမီနာအတွက် ၄၅၇ vs ~၃၈၀ GPa) – ကွေးညွှတ်မှုနည်းခြင်း
● အပူစီးကူးမှု ၃ ဆ မြင့်မားခြင်း – အပူပိုမိုမြန်ဆန်စွာ ပျံ့နှံ့ခြင်း
● အလူမီနာ၏ လေထဲတွင် 800°C နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက >1600°C ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်
● သံမဏိထက် သိပ်သည်းဆနည်းသည် – အလေးချိန် ၄၀% လျှော့ချနိုင်သည်
စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း-
အရှည် ၁၅၀–၄၅၀ မီလီမီတာ၊ အဖျားပုံသဏ္ဍာန်များ (အနားကွပ်၊ Bernoulli၊ ပြားချပ်ချပ်)၊ OEM ပုံဆွဲချက်အရ တပ်ဆင်သည့် အနားကွပ်ပုံစံများ။
*အထက်ဖော်ပြပါ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဒေတာအားလုံးသည် ပေးထားသော စမ်းသပ်အစီရင်ခံစာ (အသုတ် S1111) မှ လာပါသည်။ ဤ SiC အဆင့်အတွက် အပူနှင့် မာကျောမှုတန်ဖိုးများသည် ပုံမှန်ဖြစ်သည်။ အသုတ်အလိုက် အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်အတွက် ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။*
